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石英坩埚(QuartzCrucible,QC)是石英玻璃成品中的细分产物,由高纯石英砂,通过模具定型,应用电弧法高温制制而成,具有耐高温、应用时候长、高纯度等特质,石英坩埚首要用于半导体高纯单晶硅棒的拉制的辅助性耗材,是单晶硅棒拉制进程顶用于盛装熔融硅液的环节一次性破费品。遵照单晶硅棒的下逛行使场景可将石英坩埚分为半导体单晶硅滋长用石英坩埚(半导体石英坩埚)与光伏单晶硅滋长用石英坩埚(光伏石英坩埚)。
石英坩埚的构制分为不透后层、真空透后层及内涂层。不透后层平时由自然石英砂制成,内部含有大批匀称分散气泡,具有保温结果,可使石英坩埚匀称受热。真空透后层平时由自然石英砂制成,内部不含气泡且匀称致密,具有抗变形以及阻遏硅液与气泡层的功用。内涂层平时由高纯合成石英砂、高纯自然石英砂或平常石英砂制成,半导体石英坩埚对内涂层的石英砂的原料因素条件较高,石英砂杂质元素含量决策了石英坩埚的拉晶质地。
半导体石英坩埚及光伏石英坩埚的坐蓐均效力好像工艺流程:起首历程操纵离心力和成型装备,将石英砂原料正在回旋的石英坩埚模具内造成肯定形式和厚度,以高温电弧为热源,对石英坩埚模具内的石英砂原料举行高温熔制,熔制已毕后取出石英坩埚毛坯。将石英坩埚端口朝下安排于功课平台,操纵研磨开发或各种喷砂开发去除石英坩埚轮廓面的附砂,应用切边倒棱开发对中装备对石英坩埚举行校正后依据高度条件用堵截装备对石英坩埚举行堵截,再依据条件操纵内、外倒角装备,对石英坩埚堵截端面举行倒角解决。切边倒棱竣事后将石英坩埚安排于化学洗濯专用开发内,按相应工艺参数条件对石英坩埚内、轮廓面及端口举行化学洗濯,后将石英坩埚安排于干燥开发内,按条件对石英坩埚内、轮廓面及端口残留水分举行汽化挥发。干燥竣事后可遵照客户需求,按相应工艺参数条件,将配比好的专用(或客户指定的)资料涂覆正在石英坩埚内皮相和(或)轮廓面上。末了用明净的防静电塑料袋将制品密封包装,附以及格证,将竣事内包装的石英坩埚放入内嵌缓冲守卫装备的无钉纸箱内,并将石英坩埚音讯标签粘贴正在纸箱的固定标识地点。
正在石英坩埚坐蓐进程中应该编制各工序工艺文献、功课向导书,并对工艺参数和坐蓐进程条件举行章程,正在坐蓐进程中,应该装备餍足相应条件的各项资源,包管坐蓐进程按条件完毕;对显示的很是景况需举行理解评判AG九游会官方网站,采纳校正及防患要领,并不断革新。